本文來自微信公眾號： 金角財經(jīng) ，作者：羅夏

一臺還沒有正式走進晶圓廠的中國光刻機，已經(jīng)先在資本市場上掀起了一場海嘯：

先將全球光刻霸主ASML的股價砸出深坑，又把A股的張江高科瞬間推上了漲停板。

7月27日，據(jù)《The Information》報道，一家位于上海、具有國資背景的企業(yè)，已經(jīng)開始制造國產(chǎn)浸沒式DUV光刻機，計劃今年生產(chǎn)約5臺，2027年增加到20臺。首批設(shè)備預(yù)計年內(nèi)交付中芯國際、華虹半導(dǎo)體和長鑫科技，接受測試并嘗試導(dǎo)入產(chǎn)線。

消息傳出后，ASML股價大跌8.4%，創(chuàng)下近期最大單日跌幅之一。

次日A股開盤，資金迅速撲向光刻機概念。捷眾科技開盤僅一分鐘便直線拉升，斬獲“30cm”漲停；藍英裝備、波長光電雙雙鎖定“20cm”漲停；張江高科、永新光學(xué)、海立股份、東方嘉盛等個股更是紛紛封死漲停板。

耐人尋味的是，外媒報道全程未提及制造商的具體名字，而這批設(shè)備最終能否叩開商業(yè)產(chǎn)線的大門，依然是個未知數(shù)。

但僅憑“上?！?、“國資背景”、“浸沒式DUV”這幾個極具指向性的標簽，市場已經(jīng)迅速鎖定了上海微電子，并順藤摸瓜將持有其10.779%股權(quán)的張江高科，頂上了這場資本狂歡的舞臺中央。

一家低調(diào)至極、極少公開披露技術(shù)進展的未上市公司，憑什么能讓千億光刻巨頭陡然失色，又讓一家園區(qū)開發(fā)企業(yè)一時風(fēng)光無兩？

這背后，既有張江高科十年前投下的2.23億元，也有上?；硕嗄瓴枷碌囊槐P棋。

張江高科先漲停了

資本市場之所以精準鎖定了張江高科，依靠的是一條清晰無比的股權(quán)線索。

張江高科自己不生產(chǎn)光刻機，主營業(yè)務(wù)是產(chǎn)業(yè)園區(qū)開發(fā)、物業(yè)租賃和科技投資。過去，它更像張江科學(xué)城的“房東”；這些年，隨著手里的科技企業(yè)股權(quán)越來越多，它又逐漸有了另一重身份：張江產(chǎn)業(yè)生態(tài)的投資平臺。

時間拉回到2016年，張江高科全資子公司張江浩成出資2.2345億元投資上海微電子，獲得后者10.779%的股權(quán)。此后，這筆股權(quán)一直沒有增持，也沒有減持。

作為國內(nèi)前道光刻領(lǐng)域的焦點企業(yè)，上海微電子總部坐落于上海，且身兼國資背景。因此，當海外報道猝不及防地揭露“一家上海國資背景企業(yè)開始制造浸沒式DUV光刻機”時，嗅覺敏銳的敏捷資金，瞬間順著這條股權(quán)紐帶撲向了張江高科。

不過，報道沒有點名上海微電子，公司也沒有公開確認。換句話說，張江高科今天的漲停，交易的仍然是一種猜測。

但這種猜測并非毫無基礎(chǔ)。早在2025年12月底，中國政府采購網(wǎng)就曾披露過一則重磅公告：上海微電子以約1.1億元的價格，成功中標一臺SSC800/10步進掃描式光刻機。消息一出，張江高科盤中應(yīng)聲大漲超8%。

招投標文檔顯示，該設(shè)備要求分辨率不高于110納米，套刻精度不高于15納米。專家論證意見給出了極其關(guān)鍵的結(jié)論：在這一特定技術(shù)指標下，全中國僅有上海微電子一家具備研發(fā)與制造能力。

這筆億元訂單至少證明，上海微電子已經(jīng)能夠交付特定的前道步進掃描設(shè)備。

但理性看待，去年的SSC800/10，不能直接等同于此次傳聞中的浸沒式DUV。前者主要對應(yīng)90納米及以上工藝研發(fā)，后者的技術(shù)等級和產(chǎn)線要求都要高得多。

舊訂單無法替新傳聞作證，卻讓市場看到了上海微電子真實的設(shè)備能力。張江高科十年前買下的，也不只是一張依靠概念支撐的股權(quán)憑證。

由于上海微電子尚未上市，每當國產(chǎn)光刻機出現(xiàn)新消息，持有其近11%股權(quán)的張江高科，總會成為A股資金最先按下的那個按鈕。

而要理解這筆股權(quán)為什么如此受追捧，還得回到2000年前后的上海。

上海押了20多年的“冷板凳”

在互聯(lián)網(wǎng)狂飆突進、資本追逐快錢的年代，上海卻把極為沉重的資源，押給了最燒錢、見效最慢的集成電路。

1999年，上海提出“聚焦張江”。此后，集成電路、軟件和生物醫(yī)藥成為張江重點發(fā)展的產(chǎn)業(yè)，土地、資金、人才和相關(guān)企業(yè)隨之向園區(qū)集中。

上海微電子便誕生在這輪布局中。

2002年，公司在張江成立。那時，全球高端光刻機市場已經(jīng)被ASML、尼康和佳能占據(jù)。越往先進制程走，技術(shù)壁壘越高，留給后來者的空間越小。

光刻機的難點，也遠不止把圖案縮小后投到晶圓上。工作時，晶圓和掩模版要高速運動，設(shè)備還必須保持納米級同步。光源、鏡頭、工件臺、測量系統(tǒng)和控制軟件中的任何一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)誤差，最后損失的都可能是整批晶圓。

對剛剛成立的上海微電子來說，直接挑戰(zhàn)最先進設(shè)備并不現(xiàn)實。它選擇了一條更為務(wù)實且極其考驗定力的生存路徑：以戰(zhàn)養(yǎng)戰(zhàn)。

公司決定從先進封裝、LED及顯示面板等商業(yè)化門檻相對較低的領(lǐng)域切入。這些設(shè)備雖無法與最頂尖的前道制造相提并論，卻帶來了源源不斷的真實訂單與造血能力，更幫團隊打磨了精密運動控制、調(diào)焦調(diào)平、光學(xué)系統(tǒng)及整機集成的硬核底座。

憑借這套打法，上海微電子的破局節(jié)點依次展現(xiàn)：

2009年，首臺先進封裝光刻機問世；2013年，面向LED領(lǐng)域的步進光刻機交付；

2015年，高分辨率平板顯示光刻機順利出貨；2016年，首臺前道掃描光刻機交付；

2018年，90納米前道光刻機項目正式通過驗收；

2022年，中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發(fā)運，成功打

入高性能計算與AI芯片的關(guān)鍵封測陣地。

上海微電子的發(fā)展路徑并不轟動，甚至顯得有些慢。它先在能夠交付和賺錢的領(lǐng)域站穩(wěn)腳跟，再一點點向晶圓制造最核心的“無人區(qū)”艱難蠶食。

這種長達二十年的耐心，極大地仰賴于張江獨特的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

經(jīng)過二十余年的深耕，張江已匯聚近700家集成電路企業(yè)，產(chǎn)業(yè)規(guī)模破2000億元，貢獻了上海的半壁江山與全國近兩成的份額，構(gòu)建起覆蓋設(shè)計、制造、設(shè)備、材料與封測的完整閉環(huán)。

光刻機擁有數(shù)以萬計的精密零件，它的迭代必須依賴真實的晶圓產(chǎn)線反復(fù)“喂養(yǎng)”和磨合。只有當供應(yīng)商、設(shè)備商與晶圓廠在物理空間上足夠近，工程師才能在最短時間內(nèi)定位故障、迭代升級。

從這個角度看，張江高科2016年投向上海微電子的2.23億元，并非一筆偶然押中熱點的財務(wù)投資。

它更像張江產(chǎn)業(yè)生態(tài)自然長出來的一部分：園區(qū)搭建舞臺，投資平臺提供長效耐力。張江高科也在這個漫長的陪伴中，悄然完成了從“收租房東”到“產(chǎn)業(yè)股東”的蛻變。

十年磨一劍。如今一則國產(chǎn)浸沒式DUV的傳聞，讓這筆長期躺在資產(chǎn)負債表里的沉寂股權(quán)，驟然被激動的資本市場聚光燈照亮。

只不過，股權(quán)價值可以在一天內(nèi)被漲停板重新計算，光刻機的價值卻只能在生產(chǎn)線上得到確認。

擺脫ASML還有多遠

浸沒式DUV雖不及EUV先進，卻依然是芯片制造中的關(guān)鍵設(shè)備。

EUV憑借13.5納米的極紫外光總攬最尖端制程，至今仍被ASML獨家壟斷；而DUV使用193納米深紫外光，配合多重曝光等復(fù)雜工藝，同樣擁有向更先進制程延伸的潛力。

對于中國晶圓廠來說，浸沒式DUV的意義尤其特殊。

在EUV被全面封鎖、高端DUV受限的背景下，國產(chǎn)浸沒式DUV一旦通過產(chǎn)線驗證，就意味著本土芯片產(chǎn)業(yè)終于在最卡脖子的環(huán)節(jié)上實現(xiàn)了從0到1的突破。

但目前雙方的差距依然明顯。

按照報道，國產(chǎn)設(shè)備今年計劃生產(chǎn)約5臺，2027年增加到20臺。ASML在2025年共銷售279臺DUV設(shè)備，其中約131臺為浸沒式設(shè)備。

5臺對131臺，顯然不在同一個量級。

報道同時提到，國產(chǎn)設(shè)備在性能、制造質(zhì)量和可靠性上仍落后于ASML。即使交付中芯國際、華虹和長鑫科技，也要經(jīng)過數(shù)月測試，才能判斷是否具備進入生產(chǎn)線的資格。

商業(yè)晶圓廠從不為情懷埋單，決定采購的永遠是商業(yè)賬本。

它們要看一臺設(shè)備每小時能夠處理多少片晶圓，長時間運行會不會頻繁故障，多次曝光能否保持套刻精度，零部件壽命有多長，維修速度夠不夠快。最終算下來，使用國產(chǎn)設(shè)備的良率和成本能不能被接受，才是最關(guān)鍵的指標。

因此，5臺國產(chǎn)設(shè)備短期內(nèi)很難搶走ASML多少訂單，更談不上撼動其在全球高端光刻機市場的地位。

那么，ASML的股價為何應(yīng)聲下挫？

資本市場恐慌的，顯然不是今年少賣了5臺設(shè)備，而是這個“0的突破”背后，意味著中國晶圓廠從此擁有了一個可以持續(xù)試錯、磨合與演進的“第二選項”。

高端裝備制造的規(guī)律極其殘酷：不進產(chǎn)線，永無迭代。光刻機只有真正嵌入真實的生產(chǎn)線，才能源源不斷地汲取工程師、供應(yīng)商和晶圓廠聯(lián)調(diào)的反饋數(shù)據(jù)。

第一代設(shè)備或許效率低下、穩(wěn)定性不足，但只要能留下來，就擁有了提升良率、攤薄成本的希望。

ASML的領(lǐng)先優(yōu)勢不會因為5臺設(shè)備消失。但在中國市場，它過去幾乎沒有對手的領(lǐng)域，可能開始出現(xiàn)裂縫。

張江高科已經(jīng)用一個漲停，為那10.779%的股權(quán)給出了新定價。上海微電子要讓這筆定價站得住，還得讓晶圓廠愿意把昂貴的生產(chǎn)線和寶貴的良率交給一臺國產(chǎn)設(shè)備。

5臺之后能不能有20臺，20臺之后能不能變成持續(xù)訂單，將決定這次突破最終能走多遠。

國產(chǎn)光刻機走到今天，討論也該從“能不能造”，推進到“能不能用、用了能不能賺錢”。

至少這一次，資本市場已經(jīng)提前押注。

參考資料：

1.路透社援引The Information《中國開始制造國產(chǎn)浸沒式DUV光刻機》（2026-07-27）

2.上海證券報《光刻機概念爆發(fā)，多股“一字”漲停》（2026-07-28）

3.張江高科2016年對外投資公告及投資者互動回復(fù)（投資上海微電子2.2345億元、持股10.779%）

4.中國政府采購網(wǎng)、上海證券報《上海微電子中標1.1億元步進掃描式光刻機項目》（2025-12-25）

5.上海電氣集團、中國新聞網(wǎng)《中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發(fā)運》（2022-02-08）

6.上海市科委、人民網(wǎng)關(guān)于張江集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展資料（產(chǎn)業(yè)規(guī)模、企業(yè)數(shù)量及全國占比）

7.ASML《2025年年度報告》（DUV、浸沒式DUV及EUV設(shè)備銷量數(shù)據(jù)）